荷蘭設(shè)備大廠艾司摩爾（ASML）并購股后漢微科，牽動臺積電與三星的制程競賽。設(shè)備業(yè)者認(rèn)為，ASML并購漢微科之后，可能協(xié)助三星加快7納米量產(chǎn)，使得臺積電與三星的7納米大戰(zhàn)戰(zhàn)火更烈。

　　業(yè)界觀察，三星在10納米制程失利之后，已宣布提前7納米量產(chǎn)計劃，率先在7納米導(dǎo)入ASML量產(chǎn)的極紫外光微影制程（EUV）設(shè)備機(jī)臺。三星規(guī)劃，明年第2季或第3季EUV機(jī)臺裝設(shè)完工之后，明年底就會用于量產(chǎn)7納米芯片。

　　臺積電在7納米制程尚未導(dǎo)入EUV設(shè)備。由于ASML并購漢微科之后，在先進(jìn)制程機(jī)臺能量大幅提升，業(yè)界密切關(guān)注ASML是否會協(xié)助三星加快7納米布局，以及臺積電后續(xù)因應(yīng)動作。

　　臺積電表示，對ASML并購漢微科持肯定態(tài)度，預(yù)期以ASML雄厚財力，可以讓漢微科有更大的后盾，支持在電子束檢測更先進(jìn)的研發(fā)。

　　對于三星提前在7納米采用EUV微影制程，臺積電表示，考量目前EUV設(shè)備還有很多技術(shù)瓶頸，公司才決定不在7納米導(dǎo)入使用，將緊盯對手發(fā)展。臺積電強(qiáng)調(diào)，若EUV設(shè)備在2018年更成熟，該公司也會采取應(yīng)變對策，絕不會讓對手取得先機(jī)。

　　帆宣信邦戰(zhàn)略地位提升

　　艾司摩爾（ASML）宣布以新臺幣千億元并購漢微科之后，將強(qiáng)化在臺研發(fā)能量及采購比重，ASML在臺四大夥伴帆宣、公準(zhǔn)精密、信邦，以及大銀等臺灣業(yè)者，重要性同步拉升。

　　ASML很早就與臺灣建立關(guān)系，1988年由漢民代理臺灣業(yè)務(wù)，2007年進(jìn)一步在臺成立卓越創(chuàng)新中心，陸續(xù)將全球訓(xùn)練中心、二手設(shè)備翻修業(yè)務(wù)，以及子公司YieldStar量測系統(tǒng)生產(chǎn)線移到臺灣，就近服務(wù)客戶及支援全球。

　　ASML并把亞洲采購中心移到臺灣，從臺灣上百家供應(yīng)商中，幾經(jīng)輔導(dǎo)評核等程序，選出帆宣、公準(zhǔn)、信邦、大銀等成為ASML主要供應(yīng)商，間接協(xié)助提升臺灣半導(dǎo)體業(yè)整體技術(shù)能力。

　　閱報秘書 EUV

　　極紫外光微影制程 （EUV）技術(shù)是次世代微影技術(shù)之一，被半導(dǎo)體業(yè)視為跨入10納米制程以下，取代傳統(tǒng)浸潤式曝光（Immersion）、延續(xù)摩爾定律的一項重要微影技術(shù)。

　　浸潤式曝光機(jī)臺是在光源與晶圓中間加入水的原理，使波長縮短到132納米的微影技術(shù)；EUV曝光設(shè)備是利用波長極短的紫外線，在矽基板上刻出更微細(xì)的電路圖案。

　　EUV售價昂貴，一臺售價高達(dá)7，000萬歐元（約新臺幣25.6億元），主力設(shè)備開發(fā)廠艾司摩爾（ASML）為降低開發(fā)風(fēng)險，過去曾要求英特爾、三星及臺積電以入股，共同參與這項先進(jìn)微影技術(shù)開發(fā)，如今相關(guān)量產(chǎn)設(shè)備已陸續(xù)出貨，和浸潤式曝光機(jī)搭配使用，開始導(dǎo)入在10納米以下先進(jìn)制程。